日本EBARA荏原废气处理设备G5型G5-350-A1~A4，G5-500-A1~A4，G5-350-P1~ P4，G5-500-P1~ P4

日本 EBARA 荏原废气处理设备 G5 型 G5-350-A1~A4 属于燃烧式废气处理系统，主要用于高效处理各种工业废气。以下是其详细介绍：处理方法：采用燃烧 + 湿式的处理工艺。进气量：额定进气量为 350 升 / 分钟。燃料选择：可选用城市燃气或丙烷气。外形尺寸：设备的尺寸为宽 1200mm× 深 650mm× 高 1900mm。可处理气体：能处理多种气体，包括工艺气体如 SiH4、PH3、H2 等；清洁气体如 NF3、HF、F2 等；蚀刻气体如 HBr、Cl2、BCl3 等；以及 PFC 气体如 CF4、C2F6、SF6 等。应用领域：适用于半导体、液晶面板、太阳能电池和 LED 等电子元件的制造，也可用于化学和材料制造商以及各种实验室。产品特点：具备副产品对策和粉末自动卸料功能，可根据气体类型和体积按需运行，从而降低运行成本，同时提高了设备的可维护性和正常运行时间。